1. 提出一种用于单电子自旋探测微悬臂梁的制作方法。2. 大多数悬臂桥都有两个桁架臂用以对接或支撑两臂之间的桥段。3. 研究了一种压阻复合层微机械悬臂梁红外探测器,建立了其热挠曲理论模型.4. 悬臂