1、为满足纳米级电子束曝光系统的要求，设计了高速图形发生器。2、对导光系统进行了优化和模拟，给出了导光系统的光路图及成像质量图。3、配合澳辉的调光器，也可自行组成小型的调光系统进行使用。4、在电脑装