一、本文分析了导致电铸缺陷的主要原因和解决方法，提出了选择性射流电铸工艺方案。二、电铸复制卷筒照片孔型图,不需要进一步的加工.三、本研究结合黄光微影、电铸及研磨等三项制程技术，成功开发出薄膜式微圆柱